電(diàn)子(zǐ)級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 1,1,3,3,3-五氟丙烷-1-磺酸鹽是(shì)一(yī)種特殊用(yòng)途←ε的(de)光(guāng)敏化(huà)合物(wù)，結合了(le)"锍陽離(lí)子(zǐ)的(de)高(gāo)光(guāng)₩化(huà)學活性和(hé)五氟丙烷磺酸根∑"的(de)優異化(huà)學穩定性。其高(gāo✔♣←φ)純度和(hé)精細的(de)分(fēn)子(zǐ)設計(jì)÷ ，使其成為(wèi)先進半導體(tǐ)制(z<¥hì)造中光(guāng)刻膠和(hé)其他(tā)光(guāng)敏材料的(®¶≠<de)重要(yào)組成部分(fēn)。
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[物(wù)理(lǐ)性質]
中文(wén)名稱：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸鹽
英文(wén)名稱：(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonπ♦÷ium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sul©÷fonate
分(fēn)子(zǐ)式：C25H25F5O3S2。
分(fēn)子(zǐ)量：532.12 g/mol。
純度：≥99.9%，電(diàn)子(zǐ)級标準。
溶解性：
（1）溶于常見(jiàn)有(yǒu)機(j® Ωī)溶劑，如(rú)丙酮、乙腈等。
（2）對(duì)水(shuǐ)不(bù)溶，具有(yǒ≥&u)疏水(shuǐ)性。
熱(rè)穩定性：耐受高(gāo)達250°C的(de)高(gāo)溫，無分(fēn)解現(xiàn)象。
光(guāng)敏性能(néng)：在深紫外(wà≈₹φπi)光(guāng)（DUV）和(hé)極紫外(wài)光(guāng)（∞¥EUV）波長(cháng)下(xià)具有(y ₽↑"ǒu)高(gāo)光(guāng)活性。
[應用(yòng)領域]
先進光(guāng)刻膠技(jì)術(sh☆✘₽∑ù)
（1）作(zuò)為(wèi)光(guāng)敏Ω£ε劑，提高(gāo)DUV和(hé)EUV光(guāng)刻膠的(de)光(guāng)解效率和π₽(hé)顯影(yǐng)性能(néng)。
（2）增強光(guāng)刻工(gōng)藝中的(de)←☆分(fēn)辨率和(hé)圖形精度。
半導體(tǐ)制(zhì)造
（1）支持高(gāo)精度微(wēi)納米器(qì)件(jiàn)的(de)圖形←★☆轉移。
（2）适用(yòng)于化(huà)學放(fàng)大(dà)型光(guān ¶g)刻膠，在高(gāo)複雜(zá)性芯片制(׶±zhì)造中發揮作(zuò)用(yòng)。
新材料研發
（1）用(yòng)于開(kāi)發高(gāo)性✘∏→®能(néng)光(guāng)敏薄膜材料。
（2）适用(yòng)于光(guāng)電(d÷♦₽iàn)材料及高(gāo)端顯示設備的(de)精密制( ≤zhì)造。
優勢
該産品結合了(le)高(gāo)純度、熱(rè)穩定性和(hé)優異的(de)↔•光(guāng)敏性能(néng)，可(k✔±≠ ě)顯著提升光(guāng)刻膠的(de)性÷λ能(néng)表現(xiàn)，是(shì)滿足半導體(tǐ)行(x€$>★íng)業(yè)高(gāo)精度制(zhì)造需求的 λ↕(de)理(lǐ)想選擇。
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