(4-(tert-butyl)phenyl)©•diphenylsulfonium,2,€&3,4,5,6-pentafluorobenzene≤£∏¥sulfonate

電(diàn)子(zǐ)級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍五氟苯磺酸鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)純度、穩定的(de)锍鹽化(huà)≠↓β合物(wù)。其獨特的(de)三芳基锍陽離(lí)子★α (zǐ)和(hé)強酸性五氟苯磺酸陰離(lí)子(zǐ)，使∏¥其具備優異的(de)光(guāng)敏和(hé)化(huà)學特性，特 ✘​>别适用(yòng)于半導體(tǐ)制(zhì)造中的(de)光(guāng)₩§€刻膠配方及其他(tā)高(gāo)精度微(wēi)​↕加工(gōng)應用(yòng)。

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[基本信息]

中文(wén)名稱：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽，2,3,4,5,6-五氟苯磺酸铵(1:1)

英文(wén)名稱：(4-(tert-butyl)phenyl) di↔∏phenyl sulfonium,2,3,4,5,6-pentafluor¶$obenzenesulfonate

分(fēn)子(zǐ)式：C₂₈H₂₃F₅O₃S₂

分(fēn)子(zǐ)量：566.1 g/mol。

外(wài)觀：白(bái)色或淺黃(huáng)色粉末或™∞≠←結晶體(tǐ)。

純度：≥99.9%，符合電(diàn)子(zǐ)級材料要(yào)求。

溶解性：
（1）溶于極性有(yǒu)機(jī)溶劑，如(rú)乙腈、二氯甲烷。
（2）不(bù)溶于水(shuǐ)，表現(xiàn)出良好(hǎo)<<σ的(de)溶劑選擇性。

熱(rè)穩定性：能(néng)夠在300°C以下(xià)保持化(huà)學穩定性。

 [應用(yòng)領域]

光(guāng)刻膠行(xíng)業(yè)
（1）作(zuò)為(wèi)光(guāng)刻膠中的(de)光(λ guāng)敏劑，提高(gāo)曝光(guāng)分(fēn)辨率。≤↕β™
（2）适用(yòng)于深紫外(wài)（DUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻技(jì)術(shù)，滿足納米級圖形制(zhì₹☆←)造需求。

微(wēi)電(diàn)子(zǐ)制(zh ≤ ì)造
（1）用(yòng)于幹法蝕刻和(hé)抗蝕劑技(jì)術±δ(shù)，提升加工(gōng)精度。
（2）支持複雜(zá)的(de)微(wēi)納圖形制(zhì)造工(gōn•®ε‌g)藝。

高(gāo)性能(néng)材料開(kāi)發
（1）在功能(néng)性薄膜中提高(gāo)♥☆γ÷材料的(de)耐久性和(hé)穩定性。
（2）廣泛應用(yòng)于高(gāo)端顯♣ 示器(qì)和(hé)新能(néng)源設備的(de)加工(g×εδ∞ōng)。

該産品憑借其高(gāo)純度與性能(néng≈‍♣α)穩定性，已成為(wèi)現(xiàn)代電(dσ∏ ↔iàn)子(zǐ)制(zhì)造技(jì)術(shù)中的(de)關鍵©✔化(huà)學品，為(wèi)提高(gāo)器(q↑σì)件(jiàn)的(de)可(kě)靠性和(hé)制(zhì)造效‍β率提供了(le)堅實保障。