bis(4-(tert-butyl)phenyl)iodo÷<nium ,pentafluoroethanesulfonate

電(diàn)子(zǐ)級雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽是(shì)一(yī)種專為(wèi)半導體(tǐ)制₩♥(zhì)造和(hé)光(guāng)刻工(gōng)藝設計(jì)的(de±‌☆)高(gāo)純度化(huà)學品。它作(zuò)為(wèi)一(yī)種光(‍Ω'∞guāng)酸生(shēng)成劑（PAG），在光(guāng)刻膠中具有(yǒu)¶π↑ 重要(yào)的(de)應用(yòng)，能(néng)夠在紫外(wài)光$™δ(guāng)照(zhào)射下(xià®&β®)生(shēng)成強酸，有(yǒu)效促♣&♥進圖案轉移和(hé)細節精度提升。其分(fēn)子(zǐ)結構中的(d$×♣"e)碘鹽和(hé)五氟乙烷磺酸基團使得(de↕¶)該化(huà)合物(wù)在高(gāo)精度微(wēi)電(d™ iàn)子(zǐ)器(qì)件(jiàn)制(zhì)造中δ'≠→發揮著(zhe)至關重要(yào)的(de)作(zuò)用(yò↕​>ng)，特别是(shì)在先進的(de)半導體(tǐ)芯片制(zhì)造和∞γ♥™(hé)微(wēi)米級結構的(de)精細加工(gōng)®♠₩≠中。

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【基本信息】

中文(wén)名稱：雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽

英文(wén)名稱: bis(4-(tert-butyl)ph₹&enyl)iodonium ,pentafluo‌∑roethanesulfonate

分(fēn)子(zǐ)式：C₂₂H₂₆F₅IO₃S

分(fēn)子(zǐ)量：592.06

外(wài)觀：黃(huáng)色至橙色固體(tǐ)

溶解性：易溶于有(yǒu)機(jī)溶劑如(rú)二甲基亞硫酰胺（DMSO）、N-甲基吡咯烷酮（NMP）等，溶解度較低(dī)于水(shuǐ)

熔點：約135-145℃

分(fēn)解溫度：＞230℃

儲存條件(jiàn)：應存放(fàng)在幹燥、陰涼、避光(g ♣uāng)環境中，推薦儲存溫度不(bù)超過25℃，避免高(gāo)溫或潮濕環境。

【應用(yòng)領域】

光(guāng)刻膠材料

雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽廣泛應用(yòng)于光(guāng)刻膠配方中，作(zuò☆¶)為(wèi)一(yī)種光(guāng)酸生(shē®©ng)成劑，能(néng)夠在紫外(wài)光(φ‍guāng)照(zhào)射下(xià)釋放(fàng)強酸，促進Ωε↑©圖案轉移過程，提升光(guāng)刻膠的(de)分(fēn)辨率。

（1）适用(yòng)于KrF、ArF及EUV光(guāng)刻工(gōng)藝，滿足高(gāo)端‍™∞★半導體(tǐ)制(zhì)造中的(de)需求‌Ω<。

（2）增強光(guāng)刻膠的(de)反應性，提供優異的(de)分♥£(fēn)辨率和(hé)邊緣銳度，确保微(wēi)小(xiǎo)結÷¶&✔構的(de)精準轉印。

半導體(tǐ)制(zhì)造

該化(huà)合物(wù)在半導體(tǐ)光(guāng)刻工(gōng±÷)藝中作(zuò)為(wèi)增感劑，有(yǒu)助于提高(gā< o)光(guāng)刻膠的(de)曝光(guāng)靈敏度和(hé)♣'圖案清晰度。

（1）在微(wēi)米級及亞微(wēi)米級的(de)半導☆←♠體(tǐ)工(gōng)藝中，确保圖案的(de)高(g← βāo)精度轉移。

（2）通(tōng)過優化(huà)光(guāng)刻過程中的(deφ₽)酸生(shēng)成效率，提升生(shēng)産過程'☆中的(de)良品率。

電(diàn)子(zǐ)材料與功能(néng)塗層

雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽可(kě)用(yòng)于電(diàn)子(zǐ)£✘'封裝材料和(hé)功能(néng)塗層中，作(zuò©→)為(wèi)催化(huà)劑和(hé)表σ✘面改性劑，改善材料的(de)耐熱(rè)性和(hé δα)電(diàn)氣性能(néng)。

（1）在電(diàn)子(zǐ)封裝中提高(gāo)材料的(d≥α♦e)熱(rè)穩定性和(hé)抗氧化(huà)性，÷ββ延長(cháng)器(qì)件(jiàn)使用(yòng)壽命。

（2）作(zuò)為(wèi)塗層添加劑，提升光(guāng)學穩定性、抗腐Ωσ蝕性和(hé)電(diàn)氣特性。