電(diàn)子(zǐ)級 三苯基锍,1-[( ∏&™3-羟基三環[3.3.1.13,7]癸-1-基)±✔甲基]1,1,2,2-四氟-1,4-丁二磺酸鹽 ( ✘₹1:1)

電(diàn)子(zǐ)級三苯基锍,1-[(3-羟基三環[3.3.1.1³,⁷]癸-1-基)甲基]1,1,2,2-四氟-1,4-丁二磺酸鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)性能(néng)∏<₹光(guāng)酸生(shēng)成劑，專為(wèi)先>¶™✘進光(guāng)刻工(gōng)藝設計(jì)。其獨特ε€ 的(de)分(fēn)子(zǐ)結構結合₩‌✘了(le)三苯基锍和(hé)多(duō)官能(néng)團基團，具備優異®Ω♥←的(de)光(guāng)敏性、化(huà)學穩定性以及在苛刻條件(jiàn£©™←)下(xià)的(de)高(gāo)效性能(néng)。該産品廣泛應用(↓×∑↑yòng)于半導體(tǐ)制(zhì)造、光(guāng)刻膠​∑開(kāi)發以及其他(tā)高(gāo)精度光(guāng)電(d× σ∑iàn)子(zǐ)工(gōng)藝中，支持新一₩&φ(yī)代芯片與微(wēi)納器(qì)件(jiàn)的(de)制↓÷•(zhì)造需求。

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【物(wù)理(lǐ)性質】

基本性質

（1）化(huà)學名稱：三苯基锍,1-[(3-羟基三環[3.3.1.1³,⁷]癸-1-基)甲基]1,1,2,2-四氟-1,4-丁二磺酸鹽

（2）分(fēn)子(zǐ)式：C₃₉H₃₆F₄O₇S₃

（3）分(fēn)子(zǐ)量：716.83 g/mol

外(wài)觀與溶解性

（1）外(wài)觀：白(bái)色或淺黃(≥•huáng)色粉末。

（2）溶解性：溶于極性有(yǒu)機(jī)溶劑，如(rú)二甲基亞♥€砜（DMSO）、乙腈和(hé)甲醇。

熱(rè)穩定性與純度

（1）熱(rè)穩定性：熱(rè)分(fēn)>©±×解溫度＞200℃，适應多(duō)種工(gōng)藝條件(jiàn)。

（2）純度：≥99.9%，符合電(diàn)子(zǐ)級材料的(de)嚴格質量要(yào)求☆§。

【應用(yòng)領域】

光(guāng)刻膠材料

（1）用(yòng)作(zuò)DUV和(hé)EUV光(guāng)刻膠中的(de)光(guāng)酸生(shēng)成劑，×∑©提高(gāo)光(guāng)刻分(fēn)辨率和(hé)圖形保真度。↓<

（2）優化(huà)高(gāo)端制(zhì)程工(gōng)藝φ'♣，支持先進芯片制(zhì)造需求。

半導體(tǐ)制(zhì)造

（1）應用(yòng)于晶圓加工(gōng)中的(de)光(guāng)敏反應，>β助力實現(xiàn)高(gāo)精度圖案轉移。

（2）支持5nm及以下(xià)節點技(jì)術(shù)工(gōng)$→藝。

光(guāng)電(diàn)子(zǐ)與顯示技(jì)術(shε ù)

（1）在顯示面闆制(zhì)造中，用(yòng)于提升圖形處理(lǐ)的↔δ←∞(de)精度與分(fēn)辨率。

（2）适用(yòng)于光(guāng)電(diàn)子(zǐ)器(γ‍qì)件(jiàn)制(zhì)造，提高(gāo)器(qì)件(jiàn)的($γ↓de)可(kě)靠性和(hé)性能(néng)表現(xiàn)。