電(diàn)子(zǐ)級 全氟丁基磺酸三苯基锍鹽

電(diàn)子(zǐ)級全氟丁基磺酸三苯基锍鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)性能(™ néng)光(guāng)酸生(shēng)成劑，專為(wèi)高(gāo)>↔分(fēn)辨率光(guāng)刻工(gōng)藝設計(jì)∏δ 。其優異的(de)化(huà)學穩定性和(h  ♣é)光(guāng)酸生(shēng)成效率使其成為(wèi®λ )先進制(zhì)程中關鍵材料之一(yī)，特别适 '用(yòng)于深紫外(wài)（DUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻技(jì)術(shù)。該産品滿足苛刻™γδ的(de)電(diàn)子(zǐ)級純度需求，廣泛應用(yòng)₹σε>于半導體(tǐ)制(zhì)造和(hé)Ω"微(wēi)電(diàn)子(zǐ)加工(gōng)領域，助力實現¥↔>(xiàn)精密圖形轉移和(hé)高(gāo)集成度器(qì)↔λ$♣件(jiàn)的(de)生(shēng)産。

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【物(wù)理(lǐ)性質】

基本性質

（1）化(huà)學名稱：全氟丁基磺酸三苯基锍鹽。

（2）分(fēn)子(zǐ)式：C₂₂H₁₅F₉O₃S₂

（3）分(fēn)子(zǐ)量：562.46 g/mol。

外(wài)觀與溶解性

（1）外(wài)觀：白(bái)色至淺黃(huáng)色粉末。

（2）溶解性：易溶于常見(jiàn)有(yǒu<&✘γ)機(jī)溶劑，如(rú)甲醇、丙酮和(hé)乙腈。

熱(rè)穩定性與純度

（1）熱(rè)分(fēn)解溫度：＞180℃，滿足光(guāng)刻過程中熱(rè)處理(lǐ®™‍)要(yào)求。

（2）純度：≥99.9%，符合電(diàn)子(zǐ)級标準，雜(zá)質含量極低♦≈ ®(dī)。

【應用(yòng)領域】

光(guāng)刻技(jì)術(shù)

（1）用(yòng)作(zuò)DUV和(hé)EUV光(guāng)刻膠中的(de)光(guāng)酸生(shēng)成劑←★&¥，提升感光(guāng)靈敏度。

（2）确保光(guāng)刻膠的(de)圖形∑✔≠分(fēn)辨率和(hé)精準度，适應先進‍σ‌ 制(zhì)程工(gōng)藝。

半導體(tǐ)制(zhì)造

（1）适用(yòng)于晶圓加工(gōng)中的(de)蝕刻λ• 和(hé)圖形轉移工(gōng)藝，滿足7nm及以下(xià)節點的(de)技(jì)術(shù)需求。

（2）提高(gāo)半導體(tǐ)器(qì)件(jiàn)的(§'Ω×de)性能(néng)和(hé)穩定性，支持高(g&≠↓āo)密度電(diàn)路(lù)設計(jì)。

其他(tā)電(diàn)子(zǐ)領域

（1）在顯示面闆制(zhì)造中，用(yòng)↕×£ε于提升微(wēi)細圖形生(shēng)成效果。

（2）适合光(guāng)電(diàn)子(zǐ)器(qì)件∑>$(jiàn)和(hé)集成光(guāng)學系統的(de♠<)精密加工(gōng)，優化(huà)性能(néng)表現(xià€α ♣n)。