| 英文(wén)名稱 | triphenylsulfonium 3-(mε•€ethacryloyloxy)propane-1-×₩♥sulfonate |
|---|---|
| 中文(wén)名稱 | 電(diàn)子(zǐ)級 三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)↓↓丙烷-1-磺酸酯 |
| CAS号 | 201683-79-6 |
| 産品編号 | YH82049 |
| 分(fēn)子(zǐ)式 | C25H26O5S2 |
| 分(fēn)子(zǐ)量 | 470.12 |
三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)丙烷-1-磺酸酯是(shì)一(yī)種高(gāo)純度的&®"(de)光(guāng)敏化(huà)學品，廣泛應用(yòn∑™ ®g)于電(diàn)子(zǐ)級光(guāng)刻膠和(hé)光(guāng)"¥•敏樹(shù)脂的(de)配方中。該化(huà)合物(wù)具有(yǒu)良∏φ♥α好(hǎo)的(de)光(guāng)反$₩"應性和(hé)化(huà)學穩定性，可(kě)滿←÷足高(gāo)分(fēn)辨率光(guāng)刻工(gōng§"↕←)藝對(duì)性能(néng)和(hé)純 Ω✘度的(de)嚴格要(yào)求，适用(yòng)于微(wēi)π✔≈≈電(diàn)子(zǐ)和(hé)半導體(tǐ)制(zhì)造領域的™ ™(de)關鍵工(gōng)藝環節。
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【物(wù)理(lǐ)性質】
基本性質
化(huà)學名稱：三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)丙烷-1-磺酸酯
分(fēn)子(zǐ)式：C25H26O5S2
分(fēn)子(zǐ)量：470.12 g/mol
外(wài)觀：白(bái)色至淺黃(huáng)色粉®£★末或晶體(tǐ)
光(guāng)敏特性
吸收波長(cháng)範圍：320–400 nm，适用(yòng)于紫外(wài)（UV）曝光(guāng)工(gōng)藝。
具有(yǒu)高(gāo)效的(de)光(guāng)引發性能(néng)，能"π¥(néng)夠顯著提升光(guāng)刻₽↓ "膠的(de)感光(guāng)效率。
穩定性與儲存條件(jiàn)
在幹燥、避光(guāng)環境中具有(yǒu)良好(hǎo)的(de)™β"≤化(huà)學穩定性。
建議(yì)儲存溫度：2–8°C，避免高(gāo)溫和(hé)濕度。
【應用(yòng)領域】
光(guāng)刻膠材料
用(yòng)作(zuò)紫外(wài)光(guāng)→ε刻膠的(de)光(guāng)引發劑，提高(gāo)光(guāng±×)刻圖形的(de)分(fēn)辨率和(hé)清晰度。
在亞微(wēi)米和(hé)納米級集成電(diàn)路(lù)制(zhì)造±♠中應用(yòng)廣泛。
光(guāng)敏樹(shù)脂
用(yòng)于生(shēng)産高(gāo)性能(néng)光(γ≈ $guāng)敏樹(shù)脂，應用(yò✘©ng)于塗料和(hé)膠黏劑等領域。
在紫外(wài)固化(huà)塗層技(jì)術(shù)中起到(dào)關鍵作®♦φ(zuò)用(yòng)，确保高(gāo)效固化¥☆ε™(huà)和(hé)低(dī)殘留。
微(wēi)電(diàn)子(zǐ)和(hé)半導體(tǐ)制(zhì)造
支持微(wēi)機(jī)電(diàn)系¥↑φ統（MEMS）、光(guāng)電(diàn)子(zǐ)器(qì)件(jiàn)和÷ε₩(hé)先進顯示面闆的(de)制(zhì)造。
應用(yòng)于先進封裝工(gōng)藝，₽®為(wèi)提升集成電(diàn)路(lù)性能(néng)提供支持♣¶<。
【總結】
三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)丙烷-1-磺酸酯以其高(gāo)純度、優異的(de)光(guāng)敏特δ₽性和(hé)穩定性，成為(wèi)高(gāo)端光(guāng₹$'₩)刻膠和(hé)光(guāng)敏材料開(kāi)發中的(de)重要(yào®↓)組成部分(fēn)，為(wèi)微(wēi)電×∞ (diàn)子(zǐ)和(hé)半導體(tǐ)行(xíng)₹♦<業(yè)的(de)技(jì)術(shù)突破提供了(le)重要(yào)助♦★ε力。
