電(diàn)子(zǐ)級二甲基(3-(9-氧-9H-噻蒽-2-基)苯基)硫鎓三氟甲磺酸鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)效光(guāng)敏材料，具有(y×↔ ǒu)優異的(de)光(guāng)化(huà)學性質€ 和(hé)化(huà)學穩定性。該化(huà)合物(wù)廣泛應用(yònε £g)于高(gāo)分(fēn)辨率光(guāng)刻膠以及其他(tā)電(di←✘→àn)子(zǐ)化(huà)學品的(de)制(zhì)備，在先∏≠進半導體(tǐ)和(hé)微(wēi)電(diàn)子(↑ zǐ)器(qì)件(jiàn)制(zhì)造領域具有(yǒ↑¶u)重要(yào)作(zuò)用(yòng)。
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【物(wù)理(lǐ)性質】
基本性質
化(huà)學名稱：二甲基(3-(9-氧-9H-噻蒽-2-基)苯基)硫鎓三氟甲磺酸鹽
分(fēn)子(zǐ)式：C22H17F3O4S3
分(fēn)子(zǐ)量：498.02 g/mol
外(wài)觀與溶解性
外(wài)觀：黃(huáng)色至淺橙色結晶±↕φφ粉末
溶解性：易溶于乙腈、二氯甲烷、甲醇等極性有(y•∏÷®ǒu)機(jī)溶劑
熱(rè)穩定性與儲存條件(jiàn)
熔點：約120-130℃
儲存條件(jiàn)：避光(guāng)儲存于0-10℃的(de)幹燥環境，防止受潮和(hé)氧化(huà)
【應用(yòng)領域】
光(guāng)刻膠配方
作(zuò)為(wèi)光(guāng)敏劑和(δβ$πhé)光(guāng)産酸劑，在高(gāo)分(fēn)辨β→≠率光(guāng)刻膠中發揮關鍵作(zuò)用(yòng)。
（1）增強光(guāng)刻膠對(duì)紫外(wài)光(gu©αāng)和(hé)深紫外(wài)光(guāng∏>&)的(de)感光(guāng)性能(néng)。
（2）提高(gāo)微(wēi)細圖案的(de)清晰度和(hé)邊緣對(d♣✘Ωuì)比度。
半導體(tǐ)制(zhì)造
在先進半導體(tǐ)和(hé)微(wēi)電(diàn)子(zǐ)器(q→☆®≥ì)件(jiàn)的(de)光(guāng)刻工(gōng)藝₽×♥♥中表現(xiàn)出色。
（1）支持亞微(wēi)米及納米級别的(de)高(™♥≤gāo)精度圖案轉移。
（2）滿足尖端芯片制(zhì)造對(duì)化(huà)學材料的(de)嚴苛≈φ>要(yào)求。
其他(tā)電(diàn)子(zǐ)應用(yòng)
用(yòng)于光(guāng)電(diàn)材料和(hé)功能(nén™✘÷ g)塗層的(de)制(zhì)備。
（1）改善光(guāng)電(diàn)設備的(dφ•∏e)光(guāng)學性能(néng)和δ(hé)穩定性。
（2）用(yòng)于顯示技(jì)術(shù)和(hé)傳感器(qì)的φ↓"≥(de)關鍵材料層。
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