| 英文(wén)名稱 | 1-(2-oxo-2-phenylethyl)t'♦etrahydro-1H-thiophen-1-ium 1,1,2,2,3,γ>3,4,4,4-nonafluorobutane-1-su♣φ↑lfonate |
|---|---|
| 中文(wén)名稱 | 電(diàn)子(zǐ)級1-(2-氧代-2-苯乙基)四氫噻吩鎓1,1,§♦2,2,3,3,4,4,4-九氟丁烷磺酸鹽 |
| CAS号 | 301664-71-1 |
| 産品編号 | YH82002 |
| 分(fēn)子(zǐ)式 | C16H15F9O4S2 |
| 分(fēn)子(zǐ)量 | 506.4 |
電(diàn)子(zǐ)級1-(2-氧代-2-苯乙基)四氫噻吩鎓1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟丁烷磺酸鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)純度光(guāng)敏✔♥化(huà)合物(wù)，廣泛應用(yòng)于光(guā←>×ng)刻膠材料及微(wēi)電(diàn)子(zǐ)加工(gōng)領域。其分<&φ✔(fēn)子(zǐ)設計(jì)結合了(le)噻吩鎓離(lí)子(zǐ)₽★ α的(de)優異化(huà)學穩定性與九氟丁烷磺酸根的(de)強親電→±®↕(diàn)性，能(néng)夠在光(guāng)刻過程中生(shē≈€ng)成高(gāo)活性的(de)酸，滿足高(gāo)分(fēn)辨率和(hé♠α↑)低(dī)缺陷率的(de)生(shēng)産需求，是(sh왧↕β)先進制(zhì)程光(guāng)刻工(gōng)藝中∞∑•∏的(de)重要(yào)助劑。
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【物(wù)理(lǐ)性質】
基本性質
化(huà)學名稱：1-(2-氧代-2-苯乙基)四氫噻吩鎓1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟丁烷磺酸鹽
分(fēn)子(zǐ)式：C16H15F9O4S2
分(fēn)子(zǐ)量：506.4 g/mol
外(wài)觀與溶解性
外(wài)觀：白(bái)色至淺黃(huáng)" π色粉末或晶體(tǐ)
溶解性：易溶于乙腈、丙酮等有(yǒu)機(jī)溶劑，不(bù)溶于水φ×σ(shuǐ)
熱(rè)穩定性與儲存條件(jiàn)
熔點：約160℃
儲存條件(jiàn)：密封避光(guāng)儲存，建議(yε↓≈±ì)溫度範圍為(wèi)0-10℃，防止受潮和(hé)分(fēn)解
【應用(yòng)領域】
光(guāng)刻膠材料
作(zuò)為(wèi)光(guāng)刻膠的(de)産酸劑，在紫§ 外(wài)（UV）和(hé)深紫外(wài)（DUV）光(guāng)刻工(gōng)藝中具有(yǒu)卓越性能(né≥¶ng)。
（1）提高(gāo)光(guāng)刻膠的(de)光(guāng)敏響應α≤速度和(hé)顯影(yǐng)精度。
（2）改善光(guāng)刻圖案的(de)清晰度和(hé)邊緣直線性。
半導體(tǐ)制(zhì)造
用(yòng)于先進制(zhì)程工(gōng)藝（如(rú)EUV和(hé)高(gāo)精度UV光(guāng)刻）中，支持微(wēi)米及亞微(wēi)米級圖案轉移。
（1）優化(huà)刻蝕過程中的(de)酸生(shēng)成效率 α，提高(gāo)工(gōng)藝一(yī)緻性。
（2）适用(yòng)于晶圓、封裝等關鍵領域的(de)精密制(zhì)造。
功能(néng)性塗層與光(guāng)敏材料
在高(gāo)分(fēn)辨率顯示面闆和(✔↑ ≠hé)傳感器(qì)的(de)制(zhì)造中，提供穩定的(de)化(hδ£ uà)學與光(guāng)學性能(néng)。
（1）增強塗層材料的(de)光(guāng)敏 ≥σ 特性，滿足多(duō)種精密加工(gōnασβg)需求。
（2）為(wèi)光(guāng)學元件(jiàn)加工(§×gōng)提供高(gāo)效的(de)光(guāng)敏化(huà)¥∏₹$學解決方案。
