| 英文(wén)名稱 | Triphenylsulfonium Bromide |
|---|---|
| 中文(wén)名稱 | 電(diàn)子(zǐ)級 三苯基溴化(huà)锍 |
| CAS号 | 3353-89-7 |
| 産品編号 | YH84022 |
| 分(fēn)子(zǐ)式 | C18H15BrS |
| 分(fēn)子(zǐ)量 | 342.01 |
電(diàn)子(zǐ)級三苯基硫鎓溴鹽(Triphenylsulfonium Bromidσ←e)是(shì)一(yī)種常用(yòng)于半導體(tǐ)制(zhì)造和(h∏'φ∞é)光(guāng)刻膠中的(de)光(guāng)引發劑。它具有(y≥•λǒu)極佳的(de)光(guāng)化(huà)學活性,能(né • ♦ng)夠在紫外(wài)線照(zhào)射下(x€₽÷★ià)引發化(huà)學反應,生(shēng)成高(gāo)分(fēn)δεπ辨率的(de)圖案。由于其高(gāo)純度和(hé)穩定性,§<∏ 三苯基硫鎓溴鹽在集成電(diàn)路(lù★∏')、微(wēi)機(jī)電(diàn)系統以及顯示器(qì)制(z♥δ♦₽hì)造等高(gāo)精度領域廣泛應用(yòng),為(wèi)光(guσ≤āng)刻工(gōng)藝中的(de)精密←↑制(zhì)造提供了(le)關鍵材料。
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[基本信息]
(1) 分(fēn)子(zǐ)式:C18H15SBr
(2) 分(fēn)子(zǐ)量:342.01 g/mol
(3) 溶解性:溶于乙醇、丙酮等有(yǒu)機(jī)溶劑。
(4) 微(wēi)溶于水(shuǐ)。
(5) 穩定性:在常溫常壓下(xià)具有(yǒu)良好♣λ¶¶(hǎo)的(de)化(huà)學穩定性。
(6) 儲存:避光(guāng)存儲,防止光(guāng)解。
(7) 熔點:約160-170°C。
[應用(yòng)領域]
半導體(tǐ)光(guāng)刻工(gōng)藝
(1) 該産品廣泛用(yòng)于紫外(wài)★≈(UV)光(guāng)刻膠的(de)制(zhì)備,是(s≈₹§≠hì)一(yī)種高(gāo)效的(de)光(guāng)引®₩發劑。
(2) 在光(guāng)刻工(gōng)藝中,三苯基硫鎓溴鹽通(tōng)過∞♣吸收紫外(wài)光(guāng)能(néng)量引發化(huà)學反"≠↔應,生(shēng)成高(gāo)精度圖案,特别适用(yòng)于先進的♦π(de)芯片和(hé)集成電(diàn)路(lù)制(zhì≥✘®≠)造。
微(wēi)機(jī)電(diàn)系統(MEMS)制(zhì)造
(1) 其高(gāo)純度和(hé)優異的(de)光(gu>§↔āng)引發性能(néng)使其在MEMS生(shēng)産中能(néng)幫助實現(xiàn€)納米級的(de)加工(gōng)精度。
(2) 有(yǒu)助于提高(gāo)微(wēi)電(diàn)子×∑(zǐ)器(qì)件(jiàn)的(de)性能®±₩€(néng)和(hé)耐用(yòng)性。
顯示器(qì)制(zhì)造
(1) 在OLED和(hé)LCD等高(gāo)分(fēn)辨率顯示器(qì)的(de)生(shēn≠≥g)産中,該材料用(yòng)于光(guāng)™σ刻膠的(de)配方中,以提升光(guāng)刻圖案的(de)精細程度。
(2) 它可(kě)以改善顯示器(qì)的(de)分(fēn)辨率和(hé)≈ ←≠清晰度,提高(gāo)顯示質量。
三苯基硫鎓溴鹽作(zuò)為(wèi)一(∑♠yī)種高(gāo)效的(de)光(guā<✔ng)引發劑,憑借其優異的(de)物(wù)理(lǐ±")性能(néng)和(hé)高(gāo)純度,為(wèi)↔♦半導體(tǐ)、MEMS及顯示器(qì)制(zhì)造等高(gāo)端領域提供了(le)可(kě)靠♣ε±的(de)支持。